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| 技術參數 | 單位 | nEXT400 |
|---|---|---|
| 入口法蘭 | " | DN160 ISO-K or DN160CF |
| 入口抽速 | l/s | 400 |
| 壓縮比（D or T） | " | ＞1×1011 |
| 中間級抽速 | l/s | 13 |
| 排氣口/中間級接口/增壓口 | " | NW25 |
| 放氣/吹掃口 | " | 1/8"BSPP |
| 臨界前級壓力 | mbar | 9.5 |
| 最大連續入口流量（水冷） | sccm | 105 |
| 最高允許入口法蘭烘烤溫度（僅CF、水冷） | ℃ | 120 |
| 最大允許連續前級壓力（水冷） | mbar | 7.5 |
| 前級泵推薦 | " | RV12/nXDS10i |
| 額定轉速 | rpm | 60000 |
| 到90%速度的啟動時間D（T） | s | 180（210） |
| 噪音 | dB(A) | ＜45±3 |
| 重量D（T）ISO | Kg | 6.5（6.8） |
| 重量D（T）CF | 9.5（9.8） |
| 文件名 | 類型 | 語言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
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